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Volume 13: Nano-Manufacturing Technology; and Micro and Nano Systems, Parts A and B

ASME 2008 International Mechanical Engineering Congress and Exposition

October 31–November 6, 2008, Boston, Massachusetts, USA
Conference Sponsors: ASME

ISBN: 978-0-7918-4874-6

### Nano-Manufacturing Technology

IMECE2008-66825 pp. 1-7; (7 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-66825

doi:10.1115/IMECE2008-66825

IMECE2008-67155 pp. 9-17; (9 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67155

doi:10.1115/IMECE2008-67155

IMECE2008-67372 pp. 19-23; (5 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67372

doi:10.1115/IMECE2008-67372

IMECE2008-68299 pp. 25-32; (8 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-68299

doi:10.1115/IMECE2008-68299

IMECE2008-68714 pp. 33-40; (8 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-68714

doi:10.1115/IMECE2008-68714

IMECE2008-69111 pp. 41-45; (5 pages)

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doi:10.1115/IMECE2008-69111

### Micro and Nano Systems

IMECE2008-66257 pp. 49-60; (12 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-66257

doi:10.1115/IMECE2008-66257

IMECE2008-66833 pp. 61-65; (5 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-66833

doi:10.1115/IMECE2008-66833

IMECE2008-68308 pp. 67-71; (5 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-68308

doi:10.1115/IMECE2008-68308

IMECE2008-68980 pp. 73-78; (6 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-68980

doi:10.1115/IMECE2008-68980

IMECE2008-66627 pp. 79-85; (7 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-66627

doi:10.1115/IMECE2008-66627

IMECE2008-66703 pp. 87-96; (10 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-66703

doi:10.1115/IMECE2008-66703

IMECE2008-66813 pp. 97-102; (6 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-66813

doi:10.1115/IMECE2008-66813

IMECE2008-67026 pp. 103-111; (9 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67026

doi:10.1115/IMECE2008-67026

IMECE2008-67135 pp. 113-120; (8 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67135

doi:10.1115/IMECE2008-67135

IMECE2008-67340 pp. 121-127; (7 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67340

doi:10.1115/IMECE2008-67340

IMECE2008-68214 pp. 129-135; (7 pages)

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Ankitkumar P. Dhorajiya, Mohammed S. Mayeed, Gregory W. Auner, Ronald J. Baird, Golam M. Newaz, Rahul Patwa and Hans Herfurth

IMECE2008-68531 pp. 137-143; (7 pages)

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IMECE2008-68537 pp. 145-152; (8 pages)

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Nano-Scale Indentation Measurement of Material Properties Using an Area Function of the Tip Geometry

IMECE2008-68762 pp. 153-161; (9 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-68762

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IMECE2008-68884 pp. 163-170; (8 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-68884

doi:10.1115/IMECE2008-68884

IMECE2008-69171 pp. 171-179; (9 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-69171

doi:10.1115/IMECE2008-69171

IMECE2008-66561 pp. 181-185; (5 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-66561

doi:10.1115/IMECE2008-66561

IMECE2008-67502 pp. 187-195; (9 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67502

doi:10.1115/IMECE2008-67502

IMECE2008-68066 pp. 197-207; (11 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-68066

doi:10.1115/IMECE2008-68066

IMECE2008-68893 pp. 209-213; (5 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-68893

doi:10.1115/IMECE2008-68893

IMECE2008-67209 pp. 217-224; (8 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67209

doi:10.1115/IMECE2008-67209

IMECE2008-67312 pp. 225-232; (8 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67312

doi:10.1115/IMECE2008-67312

IMECE2008-67373 pp. 233-234; (2 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67373

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IMECE2008-67578 pp. 235-242; (8 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67578

doi:10.1115/IMECE2008-67578

IMECE2008-67693 pp. 243-247; (5 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67693

doi:10.1115/IMECE2008-67693

IMECE2008-68431 pp. 249-255; (7 pages)

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Albert Albers, Jürgen Fleischer, Peter Börsting, Hans-Georg Enkler, Pablo Leslabay and Matthias Schlipf

IMECE2008-66672 pp. 257-265; (9 pages)

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IMECE2008-67593 pp. 267-273; (7 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67593

doi:10.1115/IMECE2008-67593

IMECE2008-67711 pp. 275-279; (5 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67711

doi:10.1115/IMECE2008-67711

IMECE2008-67843 pp. 281-286; (6 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67843

doi:10.1115/IMECE2008-67843

IMECE2008-67861 pp. 287-294; (8 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67861

doi:10.1115/IMECE2008-67861

IMECE2008-67955 pp. 295-303; (9 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67955

doi:10.1115/IMECE2008-67955

IMECE2008-68620 pp. 305-312; (8 pages)

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P.-C. Chen, D. S. Park, B. H. You, N. Kim, T. Park, Y. Desta, S. Park, D. E. Nikitopoulos, S. A. Soper and M. C. Murphy

IMECE2008-68975 pp. 313-317; (5 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-68975

doi:10.1115/IMECE2008-68975

IMECE2008-69182 pp. 319-324; (6 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-69182

doi:10.1115/IMECE2008-69182

IMECE2008-66062 pp. 325-331; (7 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-66062

doi:10.1115/IMECE2008-66062

IMECE2008-66233 pp. 333-341; (9 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-66233

doi:10.1115/IMECE2008-66233

IMECE2008-66234 pp. 343-350; (8 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-66234

doi:10.1115/IMECE2008-66234

IMECE2008-66292 pp. 351-356; (6 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-66292

doi:10.1115/IMECE2008-66292

IMECE2008-66517 pp. 357-363; (7 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-66517

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Edward Steager, M. Selman Sakar, U. Kei Cheang, David Casale, Vijay Kumar, George J. Pappas and Min Jun Kim

IMECE2008-66647 pp. 365-370; (6 pages)

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doi:10.1115/IMECE2008-66647

IMECE2008-66728 pp. 371-384; (14 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-66728

doi:10.1115/IMECE2008-66728

IMECE2008-66794 pp. 385-393; (9 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-66794

doi:10.1115/IMECE2008-66794

IMECE2008-66795 pp. 395-399; (5 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-66795

doi:10.1115/IMECE2008-66795

IMECE2008-67034 pp. 401-408; (8 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67034

doi:10.1115/IMECE2008-67034

IMECE2008-67379 pp. 409-420; (12 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67379

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IMECE2008-67553 pp. 421-431; (11 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67553

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IMECE2008-67559 pp. 433-442; (10 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67559

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IMECE2008-67695 pp. 443-448; (6 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67695

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IMECE2008-67763 pp. 449-455; (7 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67763

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IMECE2008-67822 pp. 457-461; (5 pages)

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IMECE2008-68008 pp. 463-466; (4 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-68008

doi:10.1115/IMECE2008-68008

IMECE2008-68042 pp. 467-479; (13 pages)

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IMECE2008-68061 pp. 481-488; (8 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-68061

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IMECE2008-68081 pp. 489-493; (5 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-68081

doi:10.1115/IMECE2008-68081

IMECE2008-68090 pp. 495-500; (6 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-68090

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IMECE2008-68600 pp. 501-510; (10 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-68600

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IMECE2008-68795 pp. 511-519; (9 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-68795

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IMECE2008-68798 pp. 521-527; (7 pages)

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Stephen R. Breit, Christopher J. Welham, Stephane Rouvillois, Michael Kraft, David King, David Combes and Mark McNie

IMECE2008-68939 pp. 529-533; (5 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-68939

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IMECE2008-68965 pp. 535-542; (8 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-68965

doi:10.1115/IMECE2008-68965

IMECE2008-69018 pp. 543-546; (4 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-69018

doi:10.1115/IMECE2008-69018

IMECE2008-69238 pp. 547-556; (10 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-69238

doi:10.1115/IMECE2008-69238

IMECE2008-67127 pp. 557-566; (10 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67127

doi:10.1115/IMECE2008-67127

IMECE2008-67483 pp. 567-571; (5 pages)

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IMECE2008-68710 pp. 573-583; (11 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-68710

doi:10.1115/IMECE2008-68710

IMECE2008-68898 pp. 585-592; (8 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-68898

doi:10.1115/IMECE2008-68898

IMECE2008-66319 pp. 593-594; (2 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-66319

doi:10.1115/IMECE2008-66319

IMECE2008-67282 pp. 595-601; (7 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67282

doi:10.1115/IMECE2008-67282

IMECE2008-68100 pp. 603-609; (7 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-68100

doi:10.1115/IMECE2008-68100

IMECE2008-66624 pp. 611-620; (10 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-66624

doi:10.1115/IMECE2008-66624

IMECE2008-66993 pp. 621-630; (10 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-66993

doi:10.1115/IMECE2008-66993

IMECE2008-67283 pp. 631-636; (6 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67283

doi:10.1115/IMECE2008-67283

IMECE2008-67808 pp. 637-645; (9 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67808

doi:10.1115/IMECE2008-67808

IMECE2008-67932 pp. 647-653; (7 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67932

doi:10.1115/IMECE2008-67932

IMECE2008-68111 pp. 655-660; (6 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-68111

doi:10.1115/IMECE2008-68111

IMECE2008-68170 pp. 661-668; (8 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-68170

doi:10.1115/IMECE2008-68170

IMECE2008-68851 pp. 669-675; (7 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-68851

doi:10.1115/IMECE2008-68851

IMECE2008-69183 pp. 677-686; (10 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-69183

doi:10.1115/IMECE2008-69183

IMECE2008-66441 pp. 687-696; (10 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-66441

doi:10.1115/IMECE2008-66441

IMECE2008-66520 pp. 697-701; (5 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-66520

doi:10.1115/IMECE2008-66520

IMECE2008-66867 pp. 703-711; (9 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-66867

doi:10.1115/IMECE2008-66867

IMECE2008-66870 pp. 713-721; (9 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-66870

doi:10.1115/IMECE2008-66870

IMECE2008-66909 pp. 723-730; (8 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-66909

doi:10.1115/IMECE2008-66909

IMECE2008-66946 pp. 731-740; (10 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-66946

doi:10.1115/IMECE2008-66946

IMECE2008-67031 pp. 741-747; (7 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67031

doi:10.1115/IMECE2008-67031

IMECE2008-67245 pp. 749-753; (5 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67245

doi:10.1115/IMECE2008-67245

IMECE2008-67299 pp. 755-759; (5 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67299

doi:10.1115/IMECE2008-67299

IMECE2008-67526 pp. 761-764; (4 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67526

doi:10.1115/IMECE2008-67526

IMECE2008-67594 pp. 765-769; (5 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67594

doi:10.1115/IMECE2008-67594

IMECE2008-67844 pp. 771-779; (9 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67844

doi:10.1115/IMECE2008-67844

IMECE2008-67865 pp. 781-784; (4 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67865

doi:10.1115/IMECE2008-67865

IMECE2008-67880 pp. 785-790; (6 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67880

doi:10.1115/IMECE2008-67880

IMECE2008-67938 pp. 791-798; (8 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-67938

doi:10.1115/IMECE2008-67938

IMECE2008-68078 pp. 799-802; (4 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-68078

doi:10.1115/IMECE2008-68078

Byoung Hee You, Daniel S. Park, P.-C. Chen, Sudheer D. Rani, Dimitris E. Nikitopoulos, Steven A. Soper and Michael C. Murphy

IMECE2008-68143 pp. 803-809; (7 pages)

doi:10.1115/IMECE2008-68143

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